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| 专利/申请号： | CN201811426857.4 | 专利名称： | 检测系统及检测方法 |
| 申请日： | 2018-11-27 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/66 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-04-02 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109559999B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 专利转让搜索 |
摘 要：一种检测系统及检测方法，检测系统包括：吸盘，所述吸盘适于吸附晶圆，所述晶圆的边缘具有定位缺口，所述吸盘包括预设区，所述预设区包括预设晶圆放置区和与预设晶圆放置区邻接的预设定位缺口区，所述预设晶圆放置区的径向尺寸与所述晶圆的径向尺寸一致，所述预设定位缺口区沿吸盘表面的尺寸与所述定位缺口沿晶圆表面的尺寸一致；所述吸盘中具有若干贯穿吸盘的盘孔，所述盘孔沿预设区的外边缘排布且与预设区的外边缘相内切，部分数量的盘孔贯穿预设晶圆放置区，部分数量的盘孔贯穿预设定位缺口区；若干传感器，所述传感器适于在晶圆放置于吸盘表面的情况下检测盘孔是否被所述晶圆覆盖。所述检测系统检测精度得到提高。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2018111730059 | 【发明】半导体装置及其工作方法 | 2025/09/08 |
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