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发明专利
已授权
图像传感器的制作方法
📄 申请号:CN201910231830.8
📄 发布日:2026/05/12
著录项目信息
申请日
2019-03-26
公开号
CN109950267B
公开日
2021-03-30
申请人
淮安西德工业设计有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L27_146
IPC 分类号
H01L27_146
技术画像
所属领域
图像传感器
图像传感器
半导体工艺
微电子器件
应用场景
消费电子, 安防监控, 车载视觉, 医疗影像, 工业检测
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摘要
本发明提供一种图像传感器的制作方法,其在主体晶圆与载体晶圆之间的缝隙处设置一阻挡层,则在湿法蚀刻阶段,所述阻挡层能够阻挡蚀刻液进入所述缝隙,避免蚀刻液对缝隙的蚀刻,从而避免了缝隙被进一步扩大,降低后续制程中的滑片风险以及金属污染的情况发生的几率,提高产品的良率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
图像传感器及其形成方法
当前第 / 件
隔离结构及其形成方法、图像传感器及其制造方法
同领域国内专利 · IPC: (H01L27_146)
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H01L27_02
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覆盖
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