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发明专利
已授权
一种应用于微细电铸中的阴极单元
📄 申请号:CN201310226719.2
📄 发布日:2026/01/26
著录项目信息
申请日
2013-06-08
公开号
CN103334129A
公开日
2013-10-02
申请人
苏州市金翔钛设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C25D1_00
IPC 分类号
C25D1_00
技术画像
所属领域
微细电铸
微细电铸
电化学加工
精密制造
应用场景
精密模具制造, 微机电系统加工, 微细零件制造, 电铸成型
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摘要
本发明公开了一种应用于微细电铸中的阴极单元,包括水平设置阴极模板(6)以及夹具体(1),阴极模板(6)边缘通过密封块(14)封闭,夹具体(1)包括上部设有开口的桶状固定槽(16),固定槽(16)内部设有与阴极模板(6)接触的加热装置。在阴极模板(6)上连接加热装置,对沉积面的电解液加热,提高其温度,使得沉积面与其他区域电解液之间产出温度差,这种方式能够强化电解液的对流,大大提高传质效果,而且阴极模板(6)呈水平设置,接触面积较大,能够提高传热效果。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20201020
?? 专利权的转移 :
20151118
✅ 授权
20131106
?? 实质审查的生效 :
20131002
📄 公开
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