本发明涉及了一种中空三维金属微结构的制备方法及其装置,该方法是先以金属板作为支撑件置于光敏树脂溶液槽中的工作台,利用氦镉激光对光敏树脂进行逐层固化成形,与金属支撑件形成稳定结构,利用刮刀将上表面刮平;然后将该结构作为整体阴极转移至电铸槽中,按照光固化形成的型腔结构进行电化学沉积,当沉积厚度达到要求后,形成的结构件转移回到光敏树脂溶液槽中,再次进行指定轨迹的逐层固化成形,与电化学沉积的金属形成新的稳定结构,重复上述工艺流程,最终制备出中空三维金属微结构,该装置包括工件运动系统、光固化成形装置、电铸加工装置、刮刀机构、激光系统、电源和工作台,该装置结构简单,且更换加工槽时无需拆卸原模,加工效率高。
📄 2017107750360
📂 C25D1_02
👤 南通大学
📅 2017-08-31