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本发明公开了一种应用于微细电铸中的阴极单元,包括水平设置阴极模板(6)以及夹具体(1),阴极模板(6)边缘通过密封块(14)封闭,夹具体(1)包括上部设有开口的桶状固定槽(16),固定槽(16)内部设有与阴极模板(6)接触的加热装置。在阴极模板(6)上连接加热装置,对沉积面的电解液加热,提高其温度,使得沉积面与其他区域电解液之间产出温度差,这种方式能够强化电解液的对流,大大提高传质效果,而且阴极模板(6)呈水平设置,接触面积较大,能够提高传热效果。
📄 2013102267192 📂 C25D1_00 👤 苏州市金翔钛设备有限公司 📅 2013-06-08
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发明 已授权

一种应用于微细电铸中的阴极单元

2013102267192 · 苏州市金翔钛设备有限公司
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