发明专利已授权

一种中空三维金属微结构的制备方法及其装置

📄 申请号：CN201710775036.0 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2017-08-31

公开号

CN107557821B

公开日

2023-10-27

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25D1_02

IPC 分类号

C25D1_02 , B29C64_129 , B29C64_20 , B29C64_268 , B33Y10_00 , B33Y30_00 ,

技术画像

所属领域

微纳加工微纳加工金属微结构制备三维微结构成形

应用场景

微机电系统（MEMS）, 微型传感器, 微流控芯片, 生物医学器件, 精密微器件

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摘要

本发明涉及了一种中空三维金属微结构的制备方法及其装置，该方法是先以金属板作为支撑件置于光敏树脂溶液槽中的工作台，利用氦镉激光对光敏树脂进行逐层固化成形，与金属支撑件形成稳定结构，利用刮刀将上表面刮平；然后将该结构作为整体阴极转移至电铸槽中，按照光固化形成的型腔结构进行电化学沉积，当沉积厚度达到要求后，形成的结构件转移回到光敏树脂溶液槽中，再次进行指定轨迹的逐层固化成形，与电化学沉积的金属形成新的稳定结构，重复上述工艺流程，最终制备出中空三维金属微结构，该装置包括工件运动系统、光固化成形装置、电铸加工装置、刮刀机构、激光系统、电源和工作台，该装置结构简单，且更换加工槽时无需拆卸原模，加工效率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铁钻工冲扣钳辊子结构化表面的制备装置及制备方法

当前第 / 件

一种基于神经网络的榫卯结构三维图像拼接方法和系统

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