发明专利已授权

基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统

📄 申请号：CN202410139542.0 📄 发布日：2026/05/18

著录项目信息

申请日

2024-02-01

公开号

CN117974601B

公开日

2024-06-28

申请人

广东工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06T7_00

IPC 分类号

G06T7_00 , G06T7_11 , G06T7_12 , G06T7_136 , G06T7_194 , G06T7_33 , G06V10_25 , G06V10_30 , G06V10_75 , G06V10_44 , G06T5_70 , G06T5_20 ,

技术画像

所属领域

表面缺陷检测图像识别机器视觉模板匹配表面缺陷检测

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 光伏电池制造, 工业自动化, 智能制造

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摘要

本发明公开了一种基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统，包括，采集良品硅片图像，进行自动全局阈值分割及矩形分割获取感兴趣区域；将滤波后图像进行金字塔操作，创建对应的形状轮廓，构建差异模型；利用标准硅片的训练图像对差异模型进行训练，对差异模型中的检查模板进行配准；获取待检测硅片图像提取感兴趣区域，将待检测硅片图像的感兴趣区域导入差异模型，利用检查模板进行匹配，根据匹配结果提取匹配差异。本发明利用图像金字塔增强模板匹配过程，通过多尺度匹配实现更稳健、更准确的匹配，提供缺陷的精确定位，从而提高特征检测或缺陷识别的可靠性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240628

✅ 授权

20240521

?? 实质审查的生效：

20240503

📄 公开

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¥16000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：45 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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