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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202410139542.0 | 专利名称: | 基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统 |
申请日: | 2024-02-01 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G06T7/00分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统,包括,采集良品硅片图像,进行自动全局阈值分割及矩形分割获取感兴趣区域;将滤波后图像进行金字塔操作,创建对应的形状轮廓,构建差异模型;利用标准硅片的训练图像对差异模型进行训练,对差异模型中的检查模板进行配准;获取待检测硅片图像提取感兴趣区域,将待检测硅片图像的感兴趣区域导入差异模型,利用检查模板进行匹配,根据匹配结果提取匹配差异。本发明利用图像金字塔增强模板匹配过程,通过多尺度匹配实现更稳健、更准确的匹配,提供缺陷的精确定位,从而提高特征检测或缺陷识别的可靠性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |