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摘 要:本实用新型公开了一种单晶炉用掺杂装置,具体涉及单晶炉掺杂装置技术领域,包括环形管,所述环形管顶部安装有喷料管,所述喷料管一侧安装有止回阀,所述环形管一端设置物料输送机构,所述物料输送机构包括旋转管,所述旋转管设置在环形管一端,所述环形管外侧设置有单晶炉体。本实用新型通过设置物料输送机构和入料机构,通过压缩空气使稀有金属冲入到单晶炉体内的熔硅液内部,从熔硅液内部进行稀有金属的掺杂,便于稀有金属与单晶炉体内部熔硅液掺杂,提高掺杂效果,同时电机带动环形管和喷料管旋转,使稀有金属熔硅液内部不同方位喷出,进一步提高掺杂效果,并且能够在单晶炉工作的同时实时向炉内添加掺杂物质。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202223207808.6 | 专利名称: | 一种单晶炉用掺杂装置 |
申请日: | 2022-11-30 | 申请/专利权人 | 南京光宝晶体科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省南京市溧水区东屏街道金港路22号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/04搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-08-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN219490233U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |