实用新型已授权

一种单晶炉用掺杂装置

📄 申请号：CN202223207808.6 📄 发布日：2026/04/23

著录项目信息

申请日

2022-11-30

公开号

CN219490233U

公开日

2023-08-08

申请人

南京光宝晶体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B15_04

IPC 分类号

C30B15_04 , C30B29_06 , B01D46_10 , B01D53_04 ,

技术画像

所属领域

单晶炉晶体生长设备半导体掺杂工艺单晶硅制备单晶炉

应用场景

半导体制造, 光伏产业, 集成电路

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摘要

本实用新型公开了一种单晶炉用掺杂装置，具体涉及单晶炉掺杂装置技术领域，包括环形管，所述环形管顶部安装有喷料管，所述喷料管一侧安装有止回阀，所述环形管一端设置物料输送机构，所述物料输送机构包括旋转管，所述旋转管设置在环形管一端，所述环形管外侧设置有单晶炉体。本实用新型通过设置物料输送机构和入料机构，通过压缩空气使稀有金属冲入到单晶炉体内的熔硅液内部，从熔硅液内部进行稀有金属的掺杂，便于稀有金属与单晶炉体内部熔硅液掺杂，提高掺杂效果，同时电机带动环形管和喷料管旋转，使稀有金属熔硅液内部不同方位喷出，进一步提高掺杂效果，并且能够在单晶炉工作的同时实时向炉内添加掺杂物质。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单晶炉中保温支撑装置

当前第 / 件

一种双金属深孔精镗刀杆

同领域国内专利 · IPC: (C30B15_04)

C30B15_00 C30B15_02 C30B15_04 C30B15_14 C30B15_20 C30B15_22 C30B15_34 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：65 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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