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摘 要:一种图像传感器的形成方法,包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成栅沟槽,在所述栅沟槽的底部和侧面形成溢出栅绝缘层,在所述溢出栅绝缘层上形成溢出栅电极,所述溢出栅绝缘层与所述溢出栅电极组成溢出栅极结构,所述溢出栅极结构具有第一侧表面和相对于第一侧表面的第二侧表面;在所述溢出栅极结构的第一侧表面半导体衬底中形成二极管掺杂区;在所述溢出栅极结构的第二侧表面半导体衬底中形成溢出漏区,所述溢出漏区电连接电源线;所述溢出栅极结构的深度小于所述二极管掺杂区的深度且大于所述溢出漏区的深度。所述图像传感器的性能得到提高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110022981.X | 专利名称: | 一种图像传感器的形成方法 |
申请日: | 2021-01-08 | 申请/专利权人 | 尤小月 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市相城区北桥镇灵峰村(17)葛家浜57号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L27/146搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2024-11-05 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112635506B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |