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本申请涉及离子束加工的技术领域，尤其是涉及一种大口径光学元件的离子束加工装置，包括真空加工舱以及设置于所述真空加工舱内用于对光学元件进行离子束加工的离子源，所述离子源的发射端设置有用于吸附溅射材料的挡板，所述挡板上开设有供离子束通过的通孔，所述挡板表面粗糙度达到纳米量级，所述光学元件设置于所述真空加工舱内的预定位置，所述离子源位于所述光学元件上方且发射端朝向所述光学元件本申请具简化了离子束加工设备且有利于保证产品质量。

本实用新型涉及离子源灯丝技术领域，且公开了一种方便切换的离子源灯丝结构，包括灯壳，所述灯壳的顶端两侧均固定安装有接收板，所述接收板的顶端开设有放置槽，所述接收板的底端固定安装有第一电极，所述第一电极的底端固定安装有灯丝。该方便切换的离子源灯丝结构，通过灯壳顶端两侧均设置接收板，接收板顶端开设放置槽，接收板底端安装第一电极，再通过灯壳顶端安装固定板，固定板底端安装第二电极，灯丝的两端分别安装于第一电极于第二电极底端，固定板顶端开设活动槽，活动槽内壁活动连接旋转板，旋转板顶端安装支撑架，支撑架与连接杆活动连接，且连接杆的底端设置于放置槽内，使离子源灯丝能够方便切换。

本实用新型公开了一种离子源灯丝安装装置，包括壳体，所述壳体的顶部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有接头，所述壳体的内侧壁顶部固定连接有柱状电极，本实用新型通过定位槽、异型齿轮、滑杆、握把、复位弹簧、定位杆和固定块的配合使用，当对灯丝进行夹紧固定时，将灯丝通过连接板穿出，灯丝的端部伸出一定的长度，然后握住握把，向外拉动定位杆，使得定位杆的端部抽离定位槽内侧壁，然后转动握把，进而带动异型齿轮的转动，进而推动滑杆向两侧滑动，从而实现了由滑杆和固定块对灯丝的端部进行夹紧固定，防止在使用该装置时灯丝的脱落，代替了传统的螺纹固定的方式，使得灯丝的安装和拆卸更为方便，提高了工作效率。

一种离子源和离子布植机，涉及半导体器件制备技术领域，该离子源包括用于源气体电离的腔室和用于发射热电子的阴极，所述腔室上开设有用于容置所述阴极的开口部，所述阴极的表面与所述开口部的内缘相对应的部分为缩进的弧面结构，所述弧面结构与所述开口部的内缘之间具有间隙。相较于现有技术，本实用新型通过将阴极上与开口部的内缘相对的部分设置成弧面结构，使得阴极与开口部的内缘之间的间隙得以相对增大，保证了阴极与腔室绝缘设置，同时也使得阴极周围的生成物不易与开口部短接而造成短路现象，增长了离子源的更换周期，提高了离子源的使用寿命。