实用新型已授权

一种废液排放组件与匀胶显影机

Name: 一种废液排放组件与匀胶显影机
SKU: 2020230888357
Price: 1700.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202023088835.7 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2020-12-17

公开号

CN214570803U

公开日

2021-11-02

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C02F1_00

IPC 分类号

C02F1_00 , B01D53_00 , B01D5_00 , G03F7_16 , G03F7_26 ,

技术画像

所属领域

半导体工艺设备半导体工艺设备涂胶显影设备废液排放系统

应用场景

半导体制造, 光刻工艺, 晶圆加工, 废液处理

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摘要

本申请提供了一种废液排放组件与匀胶显影机，涉及废液处理技术领域。该废液排放组件包括废液槽，用于容纳光刻胶废液；多个喷胶单元，每个喷胶单元均通过独立的第一管道与废液槽连通，且每个喷胶单元产生的光刻胶废液均通过第一管道排放至废液槽。本申请提供的废液排放组件与匀胶显影机具有不易发生废液的回灌，晶圆生产的良率高的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

离子源和离子布植机

当前第 / 件

上电极拆装辅助设备

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不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：92 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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