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摘 要:本申请提供了一种废液排放组件与匀胶显影机,涉及废液处理技术领域。该废液排放组件包括废液槽,用于容纳光刻胶废液;多个喷胶单元,每个喷胶单元均通过独立的第一管道与废液槽连通,且每个喷胶单元产生的光刻胶废液均通过第一管道排放至废液槽。本申请提供的废液排放组件与匀胶显影机具有不易发生废液的回灌,晶圆生产的良率高的优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202023088835.7 | 专利名称: | 一种废液排放组件与匀胶显影机 |
申请日: | 2020-12-17 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C02F1/00搜分类 化学化工搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-02 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN214570803U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |