实用新型已授权

连接夹具及磊晶生长装置

📄 申请号：CN202120149665.4 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2021-01-19

公开号

CN214572363U

公开日

2021-11-02

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B23_02

IPC 分类号

C30B23_02 , C30B25_12 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备外延生长设备晶圆夹持机构

应用场景

晶圆制造, 半导体外延生长, LED芯片制造

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摘要

一种连接夹具及磊晶生长装置，涉及磊晶晶圆的制造设备技术。该连接夹具包括本体和至少两组呈间隔分布于本体上的驱动组件，本体用于连接于磊晶生长装置的下圆盖远离上圆盖的一端，驱动组件包括连接件和设于本体内的驱动件，其中，连接件被配置于磊晶生长装置的旋转升降机构上，且连接件的一端伸出于旋转升降机构之外并与驱动件传动连接，驱动件用于驱动连接件运动，以调节旋转升降机构与本体之间的夹角。该连接夹具能够便于对磊晶生长装置的升降旋转机构进行微调，从而调节晶圆在腔室内的位置，以利于磊晶膜的生长。该连接夹具能够便于对磊晶生长装置的升降旋转机构进行微调，从而调节晶圆在腔室内的位置，以利于磊晶膜的生长。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211102

✅ 授权

上电极拆装辅助设备

当前第 / 件

真空室

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：75 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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