连接夹具及磊晶生长装置

摘     要：一种连接夹具及磊晶生长装置，涉及磊晶晶圆的制造设备技术。该连接夹具包括本体和至少两组呈间隔分布于本体上的驱动组件，本体用于连接于磊晶生长装置的下圆盖远离上圆盖的一端，驱动组件包括连接件和设于本体内的驱动件，其中，连接件被配置于磊晶生长装置的旋转升降机构上，且连接件的一端伸出于旋转升降机构之外并与驱动件传动连接，驱动件用于驱动连接件运动，以调节旋转升降机构与本体之间的夹角。该连接夹具能够便于对磊晶生长装置的升降旋转机构进行微调，从而调节晶圆在腔室内的位置，以利于磊晶膜的生长。该连接夹具能够便于对磊晶生长装置的升降旋转机构进行微调，从而调节晶圆在腔室内的位置，以利于磊晶膜的生长。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注