一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器

摘     要：本发明公开了一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器，包括底座，所述底座的底部固定安装有气缸，所述底座的顶部固定安装有对称设置的两个中空滑杆，两个所述中空滑杆的顶部固定安装有同一个化学气相沉积反应箱，所述化学气相沉积反应箱的底部开设有槽孔，两个所述中空滑杆上滑动套装有同一个升降台。本发明不仅能够对不同宽度的芯片进行夹紧固定，满足了不同宽度芯片的化学气相沉积反应需求，适用范围广，同时能够在完成化学气相沉积反应后对尾气管道内壁上的凝结物进行自动刮除，无需人工后续进行清理，保证了尾气管道的使用效果，使用方便，还能够有效的避免凝结物堆积过多影响尾气管道的使用，提高了工作效率。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注