摘要
一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂及其制备方法,在Mo-Ag合金膜的一个表面分布有蠕虫状Ag颗粒和至少一个的Co原子或原子团簇,在制备时,通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒,之后在形成蠕虫状Ag颗粒的表面溅射沉积Co原子即可得到,在溅射沉积Mo-Ag合金膜时,使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态进行溅射,且保证所溅射形成的Mo-Ag合金膜的厚度为100-200nm,Ag的含量为22-29at%。本发明的催化剂通过在Mo-Ag合金膜的表面制备出蠕虫状Ag颗粒后再溅射沉积上Co原子,从而形成了原子、颗粒和薄膜的协同催化效果,大大提升了催化性能。