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摘 要:本发明公开了一种能够提高成膜质量的磁控溅射制备ITO薄膜的系统,包括:依次相连的预热腔、沉积腔、冷却腔、成品腔和真空泵以及控制面板。所述沉积腔的两侧壁上设置有ITO靶材和磁体,所述ITO靶材的前端设置有可开合的挡板;所述沉积腔的两侧壁上均匀开设有通气孔,且所述两侧壁上的通气孔交错设置,以向所述沉积腔内通入反应气体;所述冷却腔的底面上设置有第二加热板;所述成品腔内设置有多个格栅,以将所述成品腔均匀分隔为多个隔室。其采用流水线式的制备系统,使得成膜效率大大提高,且成膜均匀质量高。同时所述系统在成膜和冷却步骤进行控制,进一步提高了成膜质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710287731.2 | 专利名称: | 能够提高成膜质量的磁控溅射制备ITO薄膜的系统 |
申请日: | 2017-04-27 | 申请/专利权人 | 柳州豪祥特科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广西壮族自治区柳州市柳东新区官塘创业园研发中心2号楼511号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/08搜分类 塑料 磁控搜索 |
公开/公告日: | 2019-07-23 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107142452B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |