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摘 要:本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备零件遮封治具,其包括:工作台,所述工作台的内部开设有设备仓,所述设备仓底面固定连接有支撑杆,所述支撑杆的内部固定连接有转动轴,所述转动轴的外表面转动连接有活动杆,所述活动杆呈右向L形,所述活动杆横向部分呈斜坡面,所述工作台的侧面固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有移动杆,所述移动杆的底面转动连接有滑轮,所述滑轮的表面与活动杆的斜坡面相贴合,所述移动杆与活动杆远离转动轴的一端均固定连接有遮封治具,保护半导体器件中不需要蚀刻的区域,以避免误蚀,并可根据半导体器件的大小进行调整保护范围。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322779507.9 | 专利名称: | 一种半导体刻蚀设备零件遮封治具 |
申请日: | 2023-10-17 | 申请/专利权人 | 无锡宜恰高技术有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区清源路18号530创业大厦A栋501-1 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-08-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221466529U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/08/02 | 授权 |