发明专利已授权

单晶炉的自动加料装置及其操作方法

Name: 单晶炉的自动加料装置及其操作方法
Brand: 江苏拜尔特光电设备有限公司
SKU: 2017113882598
Availability: InStock

📄 申请号：CN201711388259.8 📄 发布日：2026/07/28

著录项目信息

申请日

2017-12-20

公开号

CN108103568A

公开日

2018-06-01

申请人

江苏拜尔特光电设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_02

IPC 分类号

C30B15_02 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备自动加料技术自动化控制

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料生产, 光伏产业, 集成电路制造, 晶体生长工艺

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摘要

本发明涉及一种单晶炉的自动加料装置及其操作方法，所述自动加料装置包括称重机构、主控制器、加料机构和储料箱；加料机构包括料箱、电机、转轴和挡板；料箱上具有进料口和出料口；转轴转动连接在料箱上且与电机的输出轴固定连接，转轴的轴向中部的周缘上具有开口，开口径向向内延伸形成舱口；所述挡板固定连接在料箱上且靠紧在转轴的轴向中部的周缘上；所述储料箱固定连接在料箱的进料口处且与该进料口连通。所述电机和称重机构均与主控制器电连接或者无线信号连接。采用本发明的自动加料装置的单晶炉在进行单晶棒的连续拉制过程中，坩埚内的液体硅料在连续加料中液面保持平稳、晶体能稳定生长，不会出现多晶生长现象。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241119

✅ 授权

20180626

?? 实质审查的生效：

20180601

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：43 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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