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摘 要:本实用新型提供一种能够对多尺寸半导体晶圆承载的装置,涉及晶圆承载技术领域;以解决现有的能够对多尺寸半导体晶圆承载的装置,不具备承载压力检测结构,晶圆承载限位容易碎裂的问题;包括安装支撑部;所述安装支撑部上固定连接有吸盘连接部;其特征在于:安装支撑部上安装有尺寸适配件;所述安装支撑部上固定连接有吸风辅助件;所述安装支撑部上固定连接有四个支撑压力检测件;可以实现辅助进行吸盘支撑连接,可以有效的保证支撑安全性防护效果,避免导致晶圆碎裂,可以实现多尺寸适配,有效的保证晶圆直径适配性,有效的保证晶圆支撑稳定性,采用夹持适配橡胶垫可以实现缓冲支撑,可以保证晶圆定位稳定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322683771.2 | 专利名称: | 一种能够对多尺寸半导体晶圆承载的装置 |
申请日: | 2023-10-08 | 申请/专利权人 | 盖泽华矽半导体科技(苏州)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州高新区竹园路209号4号楼20层2002室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/687搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-07-12 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221327679U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/07/12 | 授权 |