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摘 要:本实用新型公开了一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机,包括解胶机体,所述解胶机体设有贯穿的插槽;所述插槽底部设有解胶仓,所述解胶仓底部安装有UV灯装置,所述解胶仓的仓口处安装有防尘玻璃,所述防尘玻璃与UV灯装置对应;抽拉屉,所述抽拉屉为朝后且朝上开口的矩形抽屉,所述抽拉屉底部安装有贯穿的隔离玻璃,所述隔离玻璃与防尘玻璃对应,所述抽拉屉上端铰接有盖板,所述抽拉屉前端内部安装有与盖板配合的支撑架,本实用新型通过抽出抽拉屉将晶圆放置在隔离玻璃上,再将抽拉屉插入解胶机体内UV灯装置照射穿过防尘玻璃与隔离玻璃对晶圆进行解胶作业,可以有效防止外界灰尘进入解胶仓内,防尘效果好,且不影响解胶。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322335837.9 | 专利名称: | 一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机 |
申请日: | 2023-08-29 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |