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摘 要:一种化学机械研磨装置,包括:研磨主腔装置,研磨主腔装置包括承载墙壁,研磨主腔装置包括底主腔体和固定于底主腔体顶部的顶主腔体,顶主腔体中具有研磨液供给器;位于底主腔体的承载墙壁中的第一维护门;位于顶主腔体的承载墙壁中的第二维护门,第二维护门中具有贯穿第二维护门的第一开口;固定于研磨主腔装置外壁的顶悬挂腔体,顶悬挂腔体包括悬挂腔壁,悬挂腔壁与承载墙壁固定,悬挂腔壁中具有贯穿悬挂腔壁的第二开口,第二开口与第一开口连通;位于顶悬挂腔体底部表面的第一引流槽。所述化学机械研磨装置改善了漏水现象。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711065614.8 | 专利名称: | 化学机械研磨装置 |
申请日: | 2017-11-02 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/10搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2019-06-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107695867B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |