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| 专利/申请号： | CN201711065614.8 | 专利名称： | 化学机械研磨装置 |
| 申请日： | 2017-11-02 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B24B37/10 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-06-14 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN107695867B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 2 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：一种化学机械研磨装置，包括：研磨主腔装置，研磨主腔装置包括承载墙壁，研磨主腔装置包括底主腔体和固定于底主腔体顶部的顶主腔体，顶主腔体中具有研磨液供给器；位于底主腔体的承载墙壁中的第一维护门；位于顶主腔体的承载墙壁中的第二维护门，第二维护门中具有贯穿第二维护门的第一开口；固定于研磨主腔装置外壁的顶悬挂腔体，顶悬挂腔体包括悬挂腔壁，悬挂腔壁与承载墙壁固定，悬挂腔壁中具有贯穿悬挂腔壁的第二开口，第二开口与第一开口连通；位于顶悬挂腔体底部表面的第一引流槽。所述化学机械研磨装置改善了漏水现象。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2023/01/10 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2022.12.28 专利权人由德淮半导体有限公司变更为淮安西德工业设计有限公司 地址由223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号变更为223001 江苏省淮安市淮阴区钱江路南侧、市振达钢管公司东侧6幢318室 |
| 2019/06/14 | 授权 | |
| 2018/03/16 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B24B 37/10 专利申请号: 201711065614.8 申请日: 2017.11.02 |
| 2018/02/16 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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