发明专利已授权

化学机械研磨装置

Name: 化学机械研磨装置
Brand: 淮安西德工业设计有限公司
SKU: 2017110656148
Availability: InStock

📄 申请号：CN201711065614.8 📄 发布日：2025/09/22

著录项目信息

申请日

2017-11-02

公开号

CN107695867B

公开日

2019-06-14

申请人

淮安西德工业设计有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_10

IPC 分类号

B24B37_10 , B24B37_34 , B24B57_02 ,

技术画像

所属领域

研磨装置化学机械抛光半导体制造设备研磨设备研磨装置

应用场景

半导体制造, 晶圆平坦化, 集成电路制造, 光学元件加工, 微机电系统制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

一种化学机械研磨装置，包括：研磨主腔装置，研磨主腔装置包括承载墙壁，研磨主腔装置包括底主腔体和固定于底主腔体顶部的顶主腔体，顶主腔体中具有研磨液供给器；位于底主腔体的承载墙壁中的第一维护门；位于顶主腔体的承载墙壁中的第二维护门，第二维护门中具有贯穿第二维护门的第一开口；固定于研磨主腔装置外壁的顶悬挂腔体，顶悬挂腔体包括悬挂腔壁，悬挂腔壁与承载墙壁固定，悬挂腔壁中具有贯穿悬挂腔壁的第二开口，第二开口与第一开口连通；位于顶悬挂腔体底部表面的第一引流槽。所述化学机械研磨装置改善了漏水现象。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN107695867B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230110

?? 专利权的转移：

20190614

✅ 授权

20180316

?? 实质审查的生效：

20180216

📄 公开

一种助力臂抓手磁铁座（机械自动化、机械手、机械臂）

当前第 / 件

一种碱性阴离子交换膜的制备方法及其在燃料电池中的应用

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_10)

B24B37_00 B24B37_005 B24B37_013 B24B37_02 B24B37_025 B24B37_04 B24B37_08 B24B37_10 B24B37_11 B24B37_12 B24B37_14 B24B37_22 B24B37_24 B24B37_26 B24B37_27 B24B37_28 B24B37_30 B24B37_34 覆盖18个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：85 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

化学机械研磨装置

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_10)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种仪表阀体锻件的表面处理装置

一种轴承抛光机

一种铝合金门窗加工用抛光机

服务项目

资源中心

关于柿子坊