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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种桥式热膜结构微加热器及制备方法与电子鼻阵列,所述桥式热膜结构微加热器包括：在硅基底表面形成的绝热层；在绝热层表面形成的绝缘层Ⅰ；在绝缘层Ⅰ表面形成的电极柱子；在电极柱子之间形成空腔及悬空加热结构；加热结构由空腔往上依次为支撑层，绝缘层，台阶结构层，加热层及钝化层；绝缘层覆盖在支撑层上；台阶结构层位于所述绝缘层上；加热层覆盖在含所述支撑层，绝缘层、台阶结构层的复合结构上、并覆盖电极柱子的上表面；钝化层覆盖所述加热层；连接电极位于含有所述绝热层的硅基底表面，并与电极柱子连接；绝缘层Ⅰ、电极柱子、支撑层共同形成悬空加热器结构的空腔。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201811634324.5 | 专利名称： | 桥式热膜结构微加热器及制备方法与电子鼻阵列 |
| 申请日： | 2018-12-29 | 申请/专利权人 | 杭州北芯传感科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区启迪路198号B-3A02-20 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/48搜分类 其他搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-03-15 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN109473359A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/04/12 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2024.03.28 申请人由杭州北芯传感科技有限公司变更为南京汉工激光科技有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区启迪路198号B-3A02-20变更为210000 江苏省南京市溧水区永阳街道秦淮大道288号 |
| 2024/04/19 | 授权 | |
| 2019/04/09 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/48 专利申请号: 201811634324.5 申请日: 2018.12.29 |
| 2019/03/15 | 公开 |
