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摘 要:本发明提供了一种光学邻近效应修正方法,包括:筛选步骤,筛选出第一类型边缘线,其中,第一类型边缘线包括依次连接的第一片段、第二片段和第三片段,第一片段和第三片段的两端点的拐角类型均同为外角和平角的组合或者同为内角和平角的组合,所述第二片段的两端点的拐角类型同为平角;量测步骤,获得每个片段上若干参考位置点的边缘放置误差样本值;计算步骤,以预先设定的边缘放置误差的取值方式,计算第一类型边缘线的所述三个片段的边缘放置误差;修正步骤,根据计算步骤中确定的边缘放置误差,对第一类型边缘线进行修正;其中,第二片段的边缘放置误差的取值方式与第一片段、第三片段保持相同,由此减少了光学邻近效应修正的时间。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910797126.9 | 专利名称: | 一种光学邻近效应修正方法 |
申请日: | 2019-08-27 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F1/36搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2019-11-26 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110501870A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |