发明专利已授权

一种实现正负性转换的NSb2Te光刻胶制备及其光刻方法

📄 申请号：CN202110418028.7 📄 发布日：2026/03/30

著录项目信息

申请日

2021-04-19

公开号

CN113249696B

公开日

2022-07-26

申请人

苏州科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_06 , C23C14_54 , C23C14_58 , G03F7_00 , G03F7_20 ,

技术画像

所属领域

光刻胶光刻胶半导体材料光刻工艺

应用场景

半导体制造, 集成电路制程, 微纳加工, 芯片制造, 电子器件加工

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及一种实现正负性转换的NSb2Te光刻胶制备及其光刻方法，光刻胶制备方法以Sb2Te为靶材、以Ar为起辉气体、N2为掺杂气体，在基片上沉积得到NSb2Te光刻胶，控制Ar和N2的流量比，使NSb2Te光刻胶为正胶或负胶；光刻方法包括：S1：在基片上沉积一层NSb2Te光刻胶，控制NSb2Te光刻胶中氮元素的掺杂量，使NSb2Te光刻胶为正胶或者负胶；S2：利用激光直写光刻系统对所述NSb2Te光刻胶进行曝光；S3：利用反应离子刻蚀系统或酸/碱性显影剂对曝光后的所述NSb2Te光刻胶进行干法或湿法显影，得到具有微纳结构的光刻样品。本发明提供一种工艺简单、成本低廉、环境友好且能在同一显影剂中实现正负胶转换的光刻胶制备方法和光刻方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电化学发光化合物、电化学发光体系及其应用(生物医学诊断/材料表征和反应检测/环境和食品药物监测/单分子成像观测/多因子检测)

当前第 / 件

一种起重机n阶伸缩臂架临界载荷的确定方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：72 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种实现正负性转换的NSb2Te光刻胶制备及其光刻方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种三硫代碳酸酯及其在制备窄分布聚对乙酰氧基苯乙烯中的应用

一种用于微带探针的光纤端面耦合器的制作方法

一种等间距碳纳米管环形阵列封装电极及其制备方法和应用

服务项目

资源中心

关于柿子坊