实用新型 已授权

一种用于半导体制备的氢氟酸储存装置

📄 申请号:CN202421702212.X 📄 发布日:2026/10/30

著录项目信息

申请日
2024-07-18
公开号
CN222780758U
公开日
2025-04-22
申请人
衢州腾泰化工贸易有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制备, 晶圆制造, 湿电子化学品供应, 腐蚀性化学品安全储存, 半导体工厂化学品管理

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体制备的氢氟酸储存装置,包括酸液槽,所述酸液槽的上端开设有密封槽,所述酸液槽的下端中部侧壁上开设有排液口且排液口的内部插接有密封活塞,所述酸液槽的排液口下端外侧固定连接有排液管,所述排液管呈L形结构且水平部分端部延伸出酸液槽的下方,所述酸液槽内部下端的边角处卡接有固定框,所述固定框的上端四拐角处均固定连接有连接柱,本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型通过在酸液槽的内部下端设置一个可拆卸的固定框,利用固定框堵住酸液槽的内部下端边角,在清理时,可将固定框从酸液槽的内部提出来,此时可清理掉固定框和酸液槽内部下端的材料,方便利用工具进行清理。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN222780758U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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