一种叠层器件、清洗装置及方法

摘     要：本发明公开了一种叠层器件、清洗装置及方法，属于半导体制造工艺技术领域。所述叠层器件包括：衬底及若干支撑柱；若干支撑柱固定设置在衬底上；支撑柱上设置有若干叠片；若干叠片均匀间隔设置在支撑柱上，若干叠片中每两个叠片之间相平行。本发明叠层器件、清洗装置及方法可以清洗叠层结构的各类深孔、深槽、侧壁凹槽、叠层间隙等清洗液不易于浸入的结构位置，完成有效清洗，不会对叠层结构造成损伤。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/08/14	授权
  2019/03/01	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201811297958.6 申请日: 2018.11.02
  2019/02/01	公开