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摘 要:本发明公开了一种透红外的高灵敏可见光探测器及其制备方法,该探测器由钝化层、上电极、异质结、下电极和本征单晶硅衬底组成。上电极为导电且对可见光和红外透明的材料。异质结分为异质结上层和异质结下层,异质结上层为对可见光敏感且能透过红外的纳米薄膜,异质结下层为本征单晶硅。当可见光和红外透过上电极和异质结上层,在异质结中可见光激发出电子空穴对,被上、下电极收集并通过纵向设置的金属柱流出,而红外穿过整个探测结构,实现对可见光探测的同时不影响红外的透过。与传统结构相比,电极与结区距离很小,可降低电子空穴对在到达电极之前的复合率,提高光生载流子的收集效率。纵向金属的结构设计减少光遮挡,提高了灵敏度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910085681.9 | 专利名称: | 一种透红外的高灵敏可见光探测器及其制备方法 |
申请日: | 2019-01-29 | 申请/专利权人 | 西安工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/109搜分类 探测 光探搜索 |
公开/公告日: | 2020-07-17 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109742178B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/07/17 | 授权 | |
2019/06/04 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 31/109 专利申请号: 201910085681.9 申请日: 2019.01.29 |
2019/05/10 | 公开 |