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摘 要:本发明公开了一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置,属于湿法刻蚀用装置领域,一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置,本方案中,在磁性刻蚀件进行刻蚀的过程中,当磁性刻蚀件从刻蚀液中取出后,迅速对磁性刻蚀件表面的刻蚀液进行清洗,避免磁性刻蚀件表面存在的刻蚀液对磁性刻蚀件上已经形成的蚀痕进行侧蚀,不易造成加工废品,在加工过程中,利用磁性刻蚀件与连接柱轴心不共线的特点,在磁性刻蚀件自身重力作用下,使得磁性刻蚀件发生局部侧覆,使得磁性刻蚀件表面的刻蚀液及时滑落,可以实现大幅增加刻蚀的自动化加工程度,使得湿法刻蚀的时长严格安装预定的标准进行,增加湿法刻蚀的成功率,增加湿法刻蚀的加工效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110556219.X | 专利名称: | 一种具有定时保护功能的湿法刻蚀用装置 |
申请日: | 2021-05-21 | 申请/专利权人 | 夏秋月 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 辽宁省沈阳市和平区南湖街道三好街24号中国科学院 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-09-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113363183A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |