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| 专利/申请号: | CN202010182454.0 | 专利名称: | 一种RCA纸带摩擦机 |
| 申请日: | 2020-03-16 | 申请/专利权人 | 方腾飞 |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省金华市浦江县黄宅镇六一村石斛桥二区29号 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | G01N3/56 分类检索 |
| 公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量: | 2 | 所属领域: | 半导体制造设备 材料表面处理技术专利转让搜索 |
应用场景:芯片制造过程中RCA清洗工艺的自动化摩擦处理;半导体晶圆表面污染物去除
摘 要:本发明公开了一种RCA纸带摩擦机,包括机座、放纸机构、置物台、输送机构、砝码调节器、计数器及收纸机构;所述砝码调节器包括横杆、可沿横杆长度方向上移动的滑动块、与所述滑动块固连的推杆、用于固定所述滑动块位置的锁定机构;所述滑动块套设于所述横杆外,该滑动块上设有多个砝码凹槽。本发明通过设置砝码调节器,增大荷重调节范围,从而针对待测件具体的软硬程度设置更加精准的荷重,提高测量结果准确性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/12/15 | 授权 | |
| 2020/06/19 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 3/56 专利申请号: 202010182454.0 申请日: 2020.03.16 |
| 2020/05/26 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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