发明专利已授权

一种多级相变V2O5薄膜材料及其制备方法和应用

📄 申请号：CN201910146169.0 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2019-02-27

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10N70_20

IPC 分类号

H10N70_20 , H10B63_10 ,

技术画像

所属领域

相变材料相变材料薄膜材料功能无机材料

应用场景

智能玻璃, 光电器件, 传感器, 信息存储, 热控器件

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摘要

本发明涉及一种多级相变V2O5薄膜材料及其制备方法和应用。利用反应沉积法在磁控溅射的过程中发生钒与O2的反应并沉积于衬底，通过控制Ar气与O2气流量及溅射气压，生成V2O5，而不是钒的其他氧化物。所制得的V2O5薄膜在200～300nm厚度下的可逆相变过程中均出现非晶态、中间态和晶态三个不同相，呈现出3个不同电阻值，相较于传统的两态存储，本发明的多级相变V2O5薄膜材料具有更高的存储密度；且本发明的多级相变V2O5薄膜材料具有较快的相变速度，其10年数据保持温度达到200℃，远大于传统Ge2Sb2Te5材料的85℃，具有较好的热稳定性。本发明的多级相变V2O5薄膜材料具有较高的产业应用价值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230623

✅ 授权

20190719

?? 实质审查的生效：

20190625

📄 公开

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