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摘 要:本发明涉及一种有机半导体器件原位电学性能监测设备,包括:真空腔体,提供器件制备及原位监测的真空环境;蒸发源,提供器件制备的原材料;检测组件,包括用于实现原位电学检测的探针、设置在真空腔体外的探针座和带动探针座移动的探针移动台,探针座与真空腔体之间设置有真空波纹管,探针安装在所述探针座上并穿过真空波纹管插入到真空腔体内。可视组件,用于观察位于真空腔体内的探针的位置,调节探针移动台使探针移动到原位电学监测点;监测仪器,与检测组件连接,获取检测组件的检测数据。本发明能够在有机半导体薄膜制备的过程中,实时原位测量有机半导体薄膜的电学信号,获得电学信号随薄膜厚度或异质结类型的实时演变。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110464112.2 | 专利名称: | 有机半导体器件原位电学性能监测设备 |
申请日: | 2021-04-28 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市吴中区石湖西路188号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/66搜分类 半导体 器件搜索 |
公开/公告日: | 2021-07-20 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112864039B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/07/20 | 授权 | |
2021/06/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/66 专利申请号: 202110464112.2 申请日: 2021.04.28 |
2021/05/28 | 公开 |