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摘 要:本发明涉及光电传感技术领域,为解决现有技术中存在的光电探测器响应度不高的问题,提供一种基于嵌入式光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包含硅基底和金属光栅;金属光栅和硅基底之间有一层钛薄膜作为粘附层;金属光栅连接到顶部导电电极;硅背面设有底部导电电极;通过将金属光栅嵌入在硅基底中的方式进一步地提高了金属的光吸收效率、热电子产生率,减少了热电子的热化损失,增加了光栅侧面的肖特基界面而提高了热电子转移到硅中的收集效率,进而提升了光电探测器的响应度;调节金属光栅周期可改变探测器的响应波长,实现了波长可调的近红外光电探测器。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910931220.9 | 专利名称: | 一种基于嵌入式光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器 |
申请日: | 2019-09-29 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/101搜分类 发电 探测 光电探测 电子搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |