发明专利已授权

一种图像传感器及其形成方法

📄 申请号：CN202010432811.4 📄 发布日：2025/12/02

著录项目信息

申请日

2020-05-20

公开号

CN111710686B

公开日

2023-12-22

申请人

吴永芬

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L27_146

IPC 分类号

H01L27_146

技术画像

所属领域

图像传感器图像传感器半导体器件集成电路制造

应用场景

消费电子, 安防监控, 医疗影像, 自动驾驶, 工业视觉

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摘要

本发明涉及一种图像传感器及其形成方法，该方法包括以下步骤：提供一包含光电二极管阵列的半导体基材，相邻所述光电二极管之间具有隔离结构，接着在所述半导体基材上形成电路布线层，接着对所述半导体基材进行减薄处理；接着在半导体基材的第二表面上形成钝化层以及减反射层；接着在所述减反射层上形成滤光层，通过蚀刻工艺以形成滤光单元，且在相邻的所述滤光单元之间形成间隙；接着对所述滤光单元进行热处理使得所述滤光单元热膨胀，进而使得相邻的所述滤光单元之间的所述间隙的尺寸减小；在保持热处理的温度不变的条件下，在所述滤光单元的侧壁上形成凹槽，接着在所述凹槽和所述间隙中一体形成栅格结构；接着在所述滤光单元上形成透镜结构。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231222

✅ 授权

20201027

?? 实质审查的生效：

20200925

📄 公开

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议价

不含过户费

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