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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201510846645.1 | 专利名称: | 一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法 |
申请日: | 2015-11-27 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B9/02分类检索 精密仪器 精密测试仪器 激光器 激光测量系统 检测仪器 精密机械控制专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |