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摘 要:本发明涉及一种高精度激光干涉仪,包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组,所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置,所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉,光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量;读数头在移动时,干涉激光实现了差分效果,两路干涉激光中的其中一束激光光程在减小时,另一束激光光程必然在增大,提高了干涉激光光程差的放大倍数,从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911011147.X | 专利名称: | 一种高精度激光干涉仪 |
申请日: | 2019-10-23 | 申请/专利权人 | 北方民族大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | G01B9/02搜分类 光学仪器搜索 |
公开/公告日: | 2020-02-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110763135A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |