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| 专利/申请号： | CN201711045229.7 | 专利名称： | 用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法 |
| 申请日： | 2017-10-31 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01B9/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 12 | 所属领域： | 光学测量 激光干涉技术 精密位移检测 传感器技术专利转让搜索 |
应用场景：半导体制造设备中的晶圆定位与对准;精密机械加工中的微纳尺度位移监测;生物医学成像系统的相位校正;航空航天领域结构形变实时监测;科研实验中的纳米级振动分析
摘 要：本发明公开了一种用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法。含有干涉单元和检测单元，在参考臂上加入光电相位调制器；检测单元包括四分之一波片、偏振片、扩束器和集成四光电探测器，用于检测测量和参考光束的干涉条纹并产生四路干涉信号；光电相位调制器施加高频正弦波调制电压，使干涉信号成含有待测相位信息的相位生成载波干涉信号；PGC解调得四组正交信号经计算得四路干涉信号的相位，计算差分相位变化来测量位移、偏摆角和俯仰角并进行补偿。本发明降低了测量方法的非线性误差，消除了由于光学元件性能不理想或安装误差引入的光强干扰影响，提高了相位的测量精度和稳定性，提高了角度的测量精度和测量范围，提高了位移的测量精度。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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