发明专利已授权

用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法

📄 申请号：CN201711045229.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-10-31

公开号

CN107806821B

公开日

2019-09-24

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02

技术画像

所属领域

光电探测光电探测干涉测量信号处理

应用场景

精密位移测量, 振动测量, 激光干涉仪, 光学传感, 工业检测

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摘要

本发明公开了一种用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法。含有干涉单元和检测单元，在参考臂上加入光电相位调制器；检测单元包括四分之一波片、偏振片、扩束器和集成四光电探测器，用于检测测量和参考光束的干涉条纹并产生四路干涉信号；光电相位调制器施加高频正弦波调制电压，使干涉信号成含有待测相位信息的相位生成载波干涉信号；PGC解调得四组正交信号经计算得四路干涉信号的相位，计算差分相位变化来测量位移、偏摆角和俯仰角并进行补偿。本发明降低了测量方法的非线性误差，消除了由于光学元件性能不理想或安装误差引入的光强干扰影响，提高了相位的测量精度和稳定性，提高了角度的测量精度和测量范围，提高了位移的测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190924

✅ 授权

20180410

?? 实质审查的生效：

20180316

📄 公开

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当前第 / 件

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