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| 专利/申请号: | CN201510852413.7 | 专利名称: | 一种采用激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法 |
| 申请日: | 2015-11-27 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型: | 发明 | 地址: | |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | G01B9/02 分类检索 |
| 公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量: | 31 | 所属领域: | 精密仪器 精密测试仪器 激光器 激光测量系统 检测仪器 精密机械控制专利转让搜索 |
摘 要:本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜,所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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