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| 专利/申请号： | CN201711156858.7 | 专利名称： | 一种基于参考信号移相的激光外差干涉信号处理方法 |
| 申请日： | 2017-11-20 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01B9/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 激光专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆形貌检测;微纳结构三维重建;高精度位移传感;振动分析与校准;材料膨胀系数测定
摘 要：本发明公开了一种基于参考信号移相的激光外差干涉信号处理方法。激光外差干涉仪的参考和测量信号经整形电路由正弦信号转变为矩形波信号，两矩形波信号输入至鉴相模块进行整小数测量；在鉴相模块中，参考信号经移相产生180°移相的信号，对参考和测量信号进行计数和对减处理得到整数初值，对参考和测量信号进行填脉冲计数得到小数值，对180°移相的参考信号和测量信号进行计数和对减处理得到整数补偿值，最后利用整数补偿值对由于信号上升沿抖动导致小数相位值在0°附近的不稳定跳变整数值进行补偿，以实现整小数的准确结合。本发明为激光外差干涉仪实现了整小数准确结合的信号处理方法，具有原理简单和易于实现的特点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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