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一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪的标定方法和测量方法

Name: 一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪的标定方法和测量方法
Brand: 重庆乐迪机车车辆配件有限公司
SKU: 2015103728388
Price: 6999.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201510372838.8 📄 发布日：2026/08/31

著录项目信息

申请日

2015-06-29

公开号

CN104964642B

公开日

2017-07-21

申请人

重庆乐迪机车车辆配件有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

精密制造, 微位移测量, 半导体制造, 科研实验, 工业计量

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摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动阶梯角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241115

?? 专利权的转移：

20170721

✅ 授权

20151111

?? 实质审查的生效：

20151007

📄 公开

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