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摘 要:本实用新型公开了一种晶圆真空吸取装置,包括圆板和框体,所述圆板的顶部开设有滑孔,所述滑孔的内壁滑动连接有移动块,所述圆板的底部焊接有壳体,所述壳体的表面安装有调节组件,所述移动块的表面分别安装有导向组件和吸取组件,所述框体的表面安装有吸气组件,调节组件包括驱动电机,所述驱动电机的一侧通过螺栓与壳体的底部固定连接。本实用新型解决了现有的真空吸取器只能吸取一种尺寸的晶圆,如果晶圆的尺寸过大,则晶圆容易因为受力不均出现翘起,测试过程中容易出现破损,而如果晶圆的尺寸过小,则晶圆的两端无法同时有效覆盖两个真空孔,导致真空吸取器的吸附能力较弱,测试过程中,晶圆容易翘起甚至滑落的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202123345647.2 | 专利名称: | 一种晶圆真空吸取装置 |
申请日: | 2021-12-28 | 申请/专利权人 | 江西锐凯科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江西省抚州市南城县河东工业园区校具产业园B8栋 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/683搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/09/06 | 授权 |