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摘 要:本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温加工装置,涉及高温加工装置技术领域,包括高温加工外壳、加热板和控制面板,所述高温加工外壳的内部活动安装有加热板,所述加热板一端的侧面固定安装有控制面板,所述加热板的另一端固定连接有推块。本实用新型通过伸缩板和加热板相互配合,使得伸缩板带动加热板弹出高温加工外壳,然后在固定环的内部放置加工件,再由伸缩柱伸缩移动带动固定块移动固定加工件,达到固定的功能,从而方便把加热板推到高温加工外壳内部,然后配合加热管进行加热,解决了由于高温加工装置的固定性能较差,使得加工件的拿取极为麻烦的问题,有利于增加装置的固定性能,从而方便装置便捷的拿取加工件,增加装置的便捷性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202121932422.4 | 专利名称: | 一种单晶硅加工用高温加工装置 |
申请日: | 2021-08-17 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 硅 港口 单晶搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |