实用新型已授权

一种用于掩模对准曝光机的芯片限位承载台

Name: 一种用于掩模对准曝光机的芯片限位承载台
Brand: 深圳市顾奈科技有限公司
SKU: 202522403655X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202522403655.X 📄 发布日：2026/10/15

著录项目信息

申请日

2025-11-12

公开号

CN224816651U

公开日

2026-09-29

申请人

深圳市顾奈科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20 , G03F9_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻设备精密承载台

应用场景

半导体制造, 集成电路光刻, 掩模对准曝光, 晶圆加工, 微纳加工

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摘要

本实用新型涉及掩模对准曝光机技术领域，具体为一种用于掩模对准曝光机的芯片限位承载台，包括放置盘和放置板，所述放置盘的表面设置有支撑台，所述支撑台的侧表面通过螺纹连接有抵杆，所述支撑台的表面连接有放置板，所述放置板的表面开设有放置槽，所述放置板的内部开设有移动槽，所述移动槽的内部设置有连接板。本实用新型通过抵簧和抵板的连接，实现对抵板在放置槽内作用角度的弹性调控效果，抵板配合限位条的使用，达到对芯片在放置槽内放置的限位和支撑效果，避免在加工过程中造成位移的情况，在支撑块和放置槽的配合使用下，方便对放置在支撑块上的芯片推出放置槽外，达到便于芯片拿取的操作效果和作用性能。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN224816651U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：5 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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