实用新型已授权

一种精密仪器设备的分体模块式防微振基台结构

📄 申请号：CN202321135186.2 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2023-05-11

公开号

CN219954066U

公开日

2023-11-03

申请人

常州朗逊新材料科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16F15_02

IPC 分类号

F16F15_02 , F16M7_00 ,

技术画像

所属领域

防微振技术防微振技术模块化结构设计精密仪器支撑技术

应用场景

精密仪器设备, 半导体制造装备, 精密测量检测, 光学实验平台, 微纳加工设备

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摘要

本实用新型涉及一种精密仪器设备的分体模块式防微振基台结构，包括上部模块结构、中部模块结构和下部模块结构，上部模块结构设有上连接板结构，中部模块结构设有中上部连接板结构和中下部连接板结构，下部模块结构设有下连接板结构，上连接板结构、中上部连接板结构、中下部连接板结构和下连接板结构上预留有防震隔振座孔，上部模块结构和中部模块结构通过上连接板结构和中上部连接板结构相互连接固定，下部模块结构和中部模块结构通过下连接板结构和中下部连接板结构相互连接固定。分体模块式结构，便于生产便于现场建模组装、其更好的提高防振等级、模块组装效果高、安装定位高、整体水平微调快捷、连接坚固、不易松脱；防震隔振性能更稳定。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种光伏板组件的预封装烘干装置

当前第 / 件

一种用于防微振精密仪器设备隔振基台的精密结构

同领域国内专利 · IPC: (F16F15_02)

F16F15_00 F16F15_02 F16F15_023 F16F15_027 F16F15_03 F16F15_04 F16F15_06 F16F15_067 F16F15_073 F16F15_08 F16F15_10 F16F15_12 F16F15_123 F16F15_124 F16F15_129 F16F15_134 F16F15_16 F16F15_26 F16F15_28 F16F15_30 F16F15_31 F16F15_315 覆盖22个领域

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