实用新型已授权

一种用于防微振精密仪器设备隔振基台的精密结构

📄 申请号：CN202321482827.1 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2023-06-12

公开号

CN220205155U

公开日

2023-12-19

申请人

常州朗逊新材料科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M11_04

IPC 分类号

F16M11_04 , F16M11_22 , F16F15_023 ,

技术画像

所属领域

隔振技术隔振技术精密机械结构减振支撑装置

应用场景

精密仪器设备, 半导体制造, 光学实验平台, 计量检测, 实验室设备

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摘要

本实用新型涉及一种用于防微振精密仪器设备隔振基台的精密结构，从上至下包括上部平面台板、中部四边钢架模框、中部支腿空气弹簧和下部钢体支腿，上部平面台板和中部四边钢架模框通过定位导柱相互限位，通过上部可微调螺栓微调后相互固定，中部四边钢架模框和中部支腿空气弹簧通过带有中部微调螺栓的连接板相互固定，连接板通过紧固螺栓固定于中部支腿空气弹簧上，中部支腿空气弹簧和下部钢体支腿通过锁紧螺栓相固定。通过中部支腿空气弹簧形成主动隔振和被动隔振，配合上部的导柱、导套、定位导柱，提高组装精度的同时，还可以进行平面度的水平微调；有效提高了主动隔振、被动隔振的最高等级要求；有效提高基台平面的水平精度可达到000级。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种精密仪器设备的分体模块式防微振基台结构

当前第 / 件

一种通风型防静电地板

同领域国内专利 · IPC: (F16M11_04)

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