实用新型已授权

一种单晶硅炉腔体内导流筒及压力容器

📄 申请号：CN202323401698.1 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2023-12-14

公开号

CN222160459U

公开日

2024-12-13

申请人

迪森(常州)能源装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B27_02 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶硅生长设备单晶硅生长设备热场部件压力容器

应用场景

单晶硅制备, 光伏产业, 半导体制造

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摘要

本实用新型公开了一种单晶硅炉腔体内导流筒及压力容器，该导流筒包括筒本体，筒本体内设有主导流腔及辅助导流腔，主导流腔分为第一腔体、第二腔体及第三腔体，第一腔体呈逐渐缩小，第二腔体呈直筒状，第三腔体呈逐渐增大；辅助导流腔的两端分别贯穿筒本体顶面、第三腔体的下端壁面。上述导流筒通过主导流腔的作用，使氩气流能够沿着主导流腔从逐步增大，到尾端时呈逐步减弱，以减弱尾端对晶棒的冲刷，避免氩气流冲刷至硅液面上，发生溅液现象，并在主导流腔的基础上，增设有辅助导流腔，通过辅助导流腔内的氩气流补充主导流腔所减弱的气流部分，保证有充足的氩气流对晶棒表面进行冷却，从而保证晶棒的拉制速度及质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种炉腔体排气结构及压力容器

当前第 / 件

一种晶体炉腔体辅助焊接的定位装置

同领域国内专利 · IPC: (C30B15_00)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：5 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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