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本实用新型公开了一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器，该底部加热装置包括石墨加热器及电极，石墨加热器包括加热器本体及电极脚，加热器本体包括二个主体部、第一加热部、第二加热部及第三加热部，第二加热部位于第一加热部、第三加热部之间，且第二加热部的加热总面积大于第一加热部的加热总面积，第三加热部的加热总面积小于或等于第三加热部的加热总面积。上述底部加热装置通过在原石墨加热器结构的基础上，将其分成第一加热部、第二加热部及第三加热部，根据坩埚加热区域的区别，以第二加热部的加热总面积为最大，以节约其他部位的加热用能，降低能耗。

本实用新型公开了一种单晶硅炉腔体内导流筒及压力容器，该导流筒包括筒本体，筒本体内设有主导流腔及辅助导流腔，主导流腔分为第一腔体、第二腔体及第三腔体，第一腔体呈逐渐缩小，第二腔体呈直筒状，第三腔体呈逐渐增大；辅助导流腔的两端分别贯穿筒本体顶面、第三腔体的下端壁面。上述导流筒通过主导流腔的作用，使氩气流能够沿着主导流腔从逐步增大，到尾端时呈逐步减弱，以减弱尾端对晶棒的冲刷，避免氩气流冲刷至硅液面上，发生溅液现象，并在主导流腔的基础上，增设有辅助导流腔，通过辅助导流腔内的氩气流补充主导流腔所减弱的气流部分，保证有充足的氩气流对晶棒表面进行冷却，从而保证晶棒的拉制速度及质量。