实用新型已授权

晶圆旋转扩膜装置

Name: 晶圆旋转扩膜装置
Brand: 苏州富泽环境技术有限公司
SKU: 2025216870183
Availability: InStock

📄 申请号：CN202521687018.3 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2025-08-08

公开号

CN224627121U

公开日

2026-08-11

申请人

苏州富泽环境技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_00

IPC 分类号

H10P72_00 , H10P72_70 , H10P58_00 ,

技术画像

所属领域

晶圆处理技术晶圆处理技术薄膜扩张技术半导体封装工艺

应用场景

芯片制造, 晶圆切割, 半导体封装, 晶圆贴膜, 集成电路制造

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摘要

本申请提供了一种晶圆旋转扩膜装置，包括：底座，所述底座上设有支撑环；升降板，位于所述底座上方；安装座，位于底座和升降板之间，包括与升降板连接的第一安装座和与底座连接的第二安装座，第一安装座与第二安装座滑动连接，第一安装座与第二安装座可相对滑动，相对滑动的滑动方向与底座平面形成有夹角，使所述第一安装座或第二安装座滑动时，所述第一安装座或第二安装座的滑动使第一安装座在垂直于底座平面的方向移动，带动所述升降板升降；旋转板，位于升降板上方，所述旋转板可旋转；压膜板，位于所述旋转板上方，用于压住待扩膜晶圆的晶圆环。本申请的扩膜装置结构简单，升降和校准的结构少，减少了驱动同步带轮的时间，扩膜效率高。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

直驱形式的旋转扩膜装置

当前第 / 件

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