实用新型已授权

直驱形式的旋转扩膜装置

📄 申请号：CN202521687012.6 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2025-08-08

公开号

CN224627120U

公开日

2026-08-11

申请人

苏州富泽环境技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H10P72_00

IPC 分类号

H10P72_00 , H10P72_70 , H10P58_00 ,

技术画像

所属领域

薄膜扩膜设备薄膜扩膜设备直驱传动机构旋转驱动装置

应用场景

晶圆切割, 半导体封装, 电子元件制造, 薄膜材料加工

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摘要

本申请提供了一种直驱形式的旋转扩膜装置，包括：底座；支撑环，支撑环设置在所述底座上；第一旋转板，与支撑环固定连接，第一旋转板可旋转；第二旋转板，位于第一旋转板上方，第二旋转板可旋转，第二旋转板上设有沿第一预设方向延伸的第一滚珠槽，第一滚珠槽内设有滚珠；升降板，位于第二旋转板上方，升降板设有沿第二预设方向延伸的容纳滚珠的第二滚珠槽，第一滚珠槽与第二滚珠槽中的至少一个沿其延伸方向的槽深具有高度差；升降杆，位于第一旋转板和升降板之间并与第一旋转板和升降板连接；压膜板，位于升降板上方，用于压住待扩膜晶圆的晶圆环。本申请提供的扩膜装置结构简单且紧凑，能够减少扩膜装置结构部件，提升扩膜效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种应急疏散设备的终端固定平台

当前第 / 件

晶圆旋转扩膜装置

同领域国内专利 · IPC: (H10P72_00)

H10P72_00 H10P72_10 H10P72_30 H10P72_76 覆盖4个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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