实用新型已授权

集成式湿氧制备装置

📄 申请号：CN202522166133.2 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2025-10-13

公开号

CN224607323U

公开日

2026-08-07

申请人

苏州富泽环境技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M1_00

IPC 分类号

F16M1_00

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备气体增湿设备气体混合控制系统

应用场景

半导体氧化工艺, 集成电路制造, 晶圆加工, 特种气体供应, 电子级气体处理

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摘要

本申请提供了一种集成式湿氧制备装置，包括：箱体，所述箱体外表面设有进水口，进气口和排气口；湿氧制备机，所述湿氧制备机固定在箱体内，包括与进水口连接的进水管，与进气口连接的进气管和与排气口连接的排气管；控制装置，所述控制装置设置在箱体内，用于控制湿氧制备机的工作；操作按钮，所述操作按钮设置在箱体表面，并与控制装置电连接；显示装置，所述显示装置设置在箱体表面，并与控制装置电连接。本申请提供的集成式湿氧制备装置将湿氧制备机及其控制装置集成一体，能够提升空间利用率，提升制备湿氧的效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

晶圆旋转扩膜装置

当前第 / 件

一种螺纹缠绕空芯玻璃钢杆

同领域国内专利 · IPC: (F16M1_00)

F16M1_00 F16M1_026 F16M1_08 F16M11_00 F16M11_02 F16M11_04 F16M11_06 F16M11_08 F16M11_10 F16M11_12 F16M11_14 F16M11_16 F16M11_18 F16M11_20 F16M11_22 F16M11_24 F16M11_26 F16M11_28 F16M11_30 F16M11_32 F16M11_34 F16M11_36 F16M11_38 F16M11_42 F16M13_00 F16M13_02 F16M13_04 F16M13_06 覆盖28个领域

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