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本申请提供了一种晶圆旋转扩膜装置，包括：底座，所述底座上设有支撑环；升降板，位于所述底座上方；安装座，位于底座和升降板之间，包括与升降板连接的第一安装座和与底座连接的第二安装座，第一安装座与第二安装座滑动连接，第一安装座与第二安装座可相对滑动，相对滑动的滑动方向与底座平面形成有夹角，使所述第一安装座或第二安装座滑动时，所述第一安装座或第二安装座的滑动使第一安装座在垂直于底座平面的方向移动，带动所述升降板升降；旋转板，位于升降板上方，所述旋转板可旋转；压膜板，位于所述旋转板上方，用于压住待扩膜晶圆的晶圆环。本申请的扩膜装置结构简单，升降和校准的结构少，减少了驱动同步带轮的时间，扩膜效率高。