实用新型已授权

超长工件图形转移曝光机

📄 申请号：CN202220404756.2 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2022-02-24

公开号

CN216817171U

公开日

2022-06-24

申请人

昆山建高远自动化科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

光刻与曝光设备光刻与曝光设备图形转移技术超长工件传输机构

应用场景

印刷电路板制造, 半导体光刻, 平板显示制造, 光伏电池图形化, 精密掩模版制作

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摘要

本实用新型公开了一种超长工件图形转移曝光机，包括机架，所述机架的上端设有上框架，所述上框架的拐角处设有锁框机构，所述上框架上方安装的上灯扫描轨道滑接有上LED扫描光源，所述上框架的底部通过下灯扫描轨道支撑架设有下灯扫描轨道，所述下灯扫描轨道上滑接有下LED扫描光源，所述下灯扫描轨道支撑架中部安装有LED光源控制系统。所述机架的左前端安装有曝光机控制操作面板，所述曝光机控制操作面板电性连接于LED光源控制系统。本实用新型通过曝光机控制操作面板控制锁框机构将上框架锁框吸真空，曝光等按钮，实现超长工件图转移，工作效率高，上框架的锁紧定位效果好，有利于超长工件板精确定位，保证曝光质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高精度直角棱镜加工治具

当前第 / 件

一种光学镜片的双面打磨装置

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_20)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：19 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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法律状态时间线

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